ご回答ありがとうございます。 set_time_limit()をループの中に入れることによってファイルの作成ができました。 ありがとうございました。 ただ、EXCELのプロセスが残ったままで、 タスクマネージャでも終了させることができませんでした。 プロセスが残るのは途中で処理が失敗しているからだと思っていたのですが 違っていたようです。